公司是国内半导体检量测设备龙头,卡位前道制造+先进封装,2023 年之前公司收入主要来自无图形和图形晶圆缺陷检测、三维形貌等设备,市场份额相对较高;2023 年至今公司套刻精度和膜厚量测设备贡献新增长动力,明、暗场晶圆检测设备和光学关键尺寸设备加速验证,新产品面向的市场远超当前产品可触达的空间,将进一步打开公司成长天花板。在前道领域,公司对标 KLA,明、暗场检测技术的突破和量测工艺覆盖度提升,未来国产化率有显著提升空间;在后道领域,公司对标 Camtek,产品能够满足主流晶圆级封装、HBM 领域的2.5/3D 封装技术要求,未来将持续受益于国内先进封装扩产。公司收入快速增长,在手订单饱满,未来规模效应显现和先进机台占比提升,盈利能力亦有望明显提升,维持“增持”评级。
国内半导体检、量测设备龙头,卡位前道制造+先进封装。中科飞测是国内半导体检、量测设备龙头,2023 年全球检、量测设备市场空间共 128.3 亿美元,中科飞测已量产和在验证产品面向的市场空间占比已达 67%。公司目前已量产六大设备,包括无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、套刻精度量测、介质薄膜膜厚量测、金属薄膜膜厚量测、三维形貌量测设备;另外明场纳米图形晶圆缺陷检测、暗场纳米图形晶圆缺陷检测、光学关键尺寸量测三大类设备完成样机研发,在客户端验证顺利。公司卡位前道晶圆制造+后道先进封装,面向前道中芯国际、长江存储等和后道长电科技、华天科技等头部客户。
在前道领域,公司原有图形、无图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测等设备市占率不断提升,明场/暗场纳米级检测设备将大幅提升公司可触达的市场空间,国产化率有显著提升空间;在后道领域,公司已经能够全面满足晶圆级封装、2.5/3D封装的技术要求,亦能满足HBM领域如RDL线宽变窄、microbump 3D量测、TSV 轮廓复杂等带来的挑战,长期将受益于国内先进封装产线扩产。
公司在前后领域分别对标 KLA 和 Camtek,前道国产化率有显著提升空间,后道持续受益于先进封装扩产。1)在前道领域,晶圆缺陷检测设备为最关键的设备,明场和暗场检测为核心技术,KLA 凭借其明场/暗场检测技术的领先优势及量测工艺的完善布局,在全球前道检、量测市场份额超 50%;根据VLSI,2022 年国内检、量测设备市场空间达 40 亿美元,结合国内厂商收入体量测算国产化率预计不足 5%,随着中科飞测在明场和暗场机台取得突破,长期国产化率有显著提升空间;2)在后道领域,检、量测的难点在于 Bump高度、RDL 表面洁净度、TSV 轮廓、及键合间晶圆翘曲等问题带来的挑战,考验设备的 3D 检测能力,Camtek 凭借 Eagle 系列在 3D Bump 等结构的量测能力,占据后道领域主要份额。中科飞测覆盖国内长电先进、华天科技、长电绍兴等头部客户,能够满足晶圆级封装、HBM 领域的 2.5/3D 封装技术要求。考虑到国内传统 OSAT 厂商如长电科技、通富微电、华天科技、甬矽电子等,以及一级新兴厂商如盛合晶微、长电绍兴、华进半导体、安牧泉等产能持续提升,未来国内先进封装产能有数倍提升空间,中科飞测长期对标Camtek,有望持续受益于国内先进封装产线扩产。

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