涂胶显影设备是光刻工序关键设备，是唯一与光刻机联机作业的核心工艺设备，行业进入门槛高，目前国产化率依然较低，该市场长期被日本厂商垄断，本土厂商芯源微实现突破。芯源微作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，2018 年推出首台前道 Track，经过多年发展，积累了工艺达标、光刻机联机作业、稳定运行的宝贵经验，完成了与数十台光刻机的成功联机量产。公司产品型号覆盖度不断提升，offline、I-line、KrF 节点产品已实现量产，ArF 浸没式机台正加速推进产业化，公司二季度新签订单情况良好，随着客户认可度的提升，公司市场份额有望实现不断增长。

我们测算 2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场规模为 10.15 亿美元，预计2025 年增长到 13.17 亿美元。目前前道涂胶显影设备主要被日本东京电子所垄断，在全球市占率高达 90%，涂胶显影设备国产替代迫切。公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的设备商，相关产品成功打破国外厂商垄断，前道涂胶显影设备已完成在晶圆加工环节 28nm 及以上工艺节点全覆盖，28nm 以下工艺技术正在验证中，有望充分受益涂胶显影设备国产替代趋势。

积极布局化学清洗、临时键合及解键合等领域，打开成长空间。公司目前已经成为国内前道物理清洗设备龙头，化学清洗机已于 2023 年第四季度获得国内知名客户验证性订单，未来有望逐步放量。键合设备方面，目前芯源微可应用于Chiplet 等领域的新产品临时键合机、解键合机也实现国内多家客户订单导入，进一步打开先进封装市场增长空间。

风险提示：新产品推广不及预期的风险，行业竞争风险，宏观环境风险

内容目录

投资要点 .......... 5

关键假设 .......... 5

区别于市场的观点 .......... 5

股价上涨催化剂 .......... 5

估值与目标价 .......... 5

芯源微核心指标概览 .......... 6

一、 国内涂胶显影设备龙头，产品打破国外垄断 .......... 7

1.1 深耕涂胶显影设备领域二十载，产品打破国外垄断 .......... 7

1.2 财务分析：营收稳步增长，高研发投入保障长期发展 .......... 9

二、 涂胶显影设备是光刻工序的关键设备，国产替代前景广阔 .......... 12

2.1 涂胶显影是光刻工艺的重要环节 .......... 12

2.2 市场空间：测算 2023 年中国大陆前道涂胶显影设备市场约为 10.15 亿美元 .......... 16

2.3 竞争格局：日系厂商垄断涂胶显影市场，国产替代需求迫切 .......... 19

三、 布局化学清洗、临时键合及解键合等领域，打开成长空间 .......... 26

3.1 单片式湿法设备市场集中度较高，公司已成为国内前道物理清洗设备龙头.......... 26

3.2 临时键合及解键合设备获国内多家客户订单导入 .......... 30

四、 盈利预测 .......... 33

4.1 盈利预测 .......... 33

4.2 相对估值 .......... 34

五、 风险提示 .......... 35

六、 附录 .......... 35

图表目录

图 1：芯源微核心指标概览图 .......... 6

图 2：芯源微主要产品演变与技术发展历程 .......... 7

图 3：芯源微主要产品矩阵与应用 .......... 8

图 4：公司 2018 年至 24 年一季度营业收入与增速.......... 9

图 5：2018-2023 年公司各产品营收占比 .......... 9

图 6：公司 2018 年至 24 年一季度归母净利润与增速 .......... 10

图 7：公司 2018 年至 24 年一季度扣非归母净利润与增速 .......... 10

图 8：2018 年至 24 年一季度公司毛利率与净利率水平 .......... 10

图 9：2018-2023 年公司分产品毛利率 .......... 10

图 10：2018-2023 年公司期间费用率 .......... 11

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